진공 증기 퇴적 오븐
2200C 반도체 장치의 피롤리틱 탄소 코팅을 위한 고온 진공 증기 퇴적 오븐 CVD 오븐
주요 특징:
증기 퇴적 오븐 사용: 이 화학 증기 퇴적 그래피티제이션 통합 오븐은 UND 드로카본 가스 (C3H8와 같은) 와 복합 재료의 화학 증기 퇴적에 사용될 수 있습니다.,CVD, C / C 복합 재료의 CVI 처리, SiC 복합 재료, 그래피트 부품의 표면 탄화 처리 및 그래핀 생산과 같은 탄소 소스.
증기 퇴적 오븐의 목적:
이 화학 증기 퇴적 그래피티제 통합 오븐은 탄소 원천으로 UND 드로카본 가스 (C3H8 등) 를 가진 복합 재료의 화학 증기 퇴적에 사용될 수 있습니다.CVD와 같은, C / C 복합 재료의 CVI 처리, SiC 복합 재료, 그래피트 부품의 표면 탄화 처리 및 그래핀 생산.
증기 퇴적 오븐의 특징:
다기능 고온 설계는 화학 증기 퇴적 및 그래피티화 처리를 동시에 달성 할 수 있습니다.
작동 온도는 2600만큼 높고 오랫동안 안정적이고 신뢰할 수 있습니다.
온도 측정 자동 변환 시스템은 열 쌍과 적외선 온도 측정기와 결합하여 온도 범위 전체의 표시 및 제어를 실현 할 수 있습니다.
인덕션 난방 주파수 변환 제어 시스템은 IGBT를 주요 전원 장치로 사용하여 장비의 에너지 절감 및 전력 절감,작은 하모닉 구성 요소와 외부 장비에 대한 간섭이 없습니다..
정밀한 흐름 표시 및 입력 및 출력 가스의 통제는 제품의 안정성을 보장합니다.
좋은 밀폐 효과와 강한 반오염 능력을 가진 특수 구조 퇴적 챔버가 사용됩니다.
다채널 퇴적 가스 경로가 사용되며 흐름 필드는 균일하며 퇴적 죽은 코너가 없으며 퇴적 효과가 좋습니다.
특수 필터레이션 시스템은 탄소 퇴적 과정에서 생성되는 텐, 고체 먼지, 유기 가스 등을 효과적으로 처리 할 수 있습니다.
증기 퇴적 오븐의 기술적 매개 변수:
