| 종류 | 진공 흑연화로 | 
|---|---|
| 사용 | 소결로 | 
| 차가운 상태의 최종 진공 | 6X0.01Pa(빈로) | 
| 온도 정확성 | ± 1 C | 
| 누출량 | 3Pa/h | 
| 종류 | 진공 흑연화로 | 
|---|---|
| 사용 | 소결로 | 
| 차가운 상태의 최종 진공 | 6X0.01Pa(빈로) | 
| 온도 정확성 | ± 1 C | 
| 누출량 | 3Pa/h | 
| 종류 | 진공 흑연화로 | 
|---|---|
| 사용 | 소결로 | 
| 차가운 상태의 최종 진공 | 6X0.01Pa(빈로) | 
| 온도 정확성 | ± 1 C | 
| 누출량 | 3Pa/h | 
| 종류 | 진공 흑연화로 | 
|---|---|
| 사용 | 소결로 | 
| 차가운 상태의 최종 진공 | 6X0.01Pa(빈로) | 
| 온도 정확성 | ± 1 C | 
| 누출량 | 3Pa/h | 
| 종류 | 진공 흑연화로 | 
|---|---|
| 사용 | 소결로 | 
| 차가운 상태의 최종 진공 | 6X0.01Pa(빈로) | 
| 온도 정확성 | ± 1 C | 
| 누출량 | 3Pa/h | 
| 종류 | 진공 흑연화로 | 
|---|---|
| 사용 | 소결로 | 
| 차가운 상태의 최종 진공 | 6X0.01Pa(빈로) | 
| 온도 정확성 | ± 1 C | 
| 누출량 | 3Pa/h | 
| 종류 | 진공 흑연화로 | 
|---|---|
| 사용 | 소결로 | 
| 핵심 부품에 대한 보증 | 1년 | 
| 크기 (L*W*H) | 600X500X5000mm(LXWXH) | 
| 차가운 상태의 최종 진공 | 6X0.01Pa(빈로) | 
| 종류 | 진공증착로 | 
|---|---|
| 핵심 부품에 대한 보증 | 1년 | 
| 핵심 부품 | PLC, 펌프, 압력용기, PLC, 베어링, 기어박스, 모터, 압력용기, 기어, 펌프 | 
| 작동 온도 | 1500C - 2600C (맞춤 제작) | 
| 온도 균일성(℃) | ±7.5 | 
| 종류 | 진공증착로 | 
|---|---|
| 핵심 부품에 대한 보증 | 1년 | 
| 핵심 부품 | PLC, 펌프, 압력용기, PLC, 베어링, 기어박스, 모터, 압력용기, 기어, 펌프 | 
| 작동 온도 | 1500C - 2600C (맞춤 제작) | 
| 온도 균일성(℃) | ±7.5 | 
| 종류 | 진공증착로 | 
|---|---|
| 핵심 부품에 대한 보증 | 1년 | 
| 핵심 부품 | PLC, 펌프, 압력용기, PLC, 베어링, 기어박스, 모터, 압력용기, 기어, 펌프 | 
| 작동 온도 | 1500C - 2600C (맞춤 제작) | 
| 온도 균일성(℃) | ±7.5 |